常见真空腔体技术性能
材质：不锈钢、铝合金等
腔体适用温度范围：-190℃~+1500℃(水冷)
密封方式：氟胶O型圈或金属无氧铜圈
出厂检测事项：
1、真空漏率检测1.3*10-10mbar*l/s
2、水冷水压检测：8公斤24小时无泄漏检测.
内外表面处理：拉丝抛光处理、喷砂电解处理、酸洗处理、电解抛光处理和镜面抛光处理等.
真空腔体
真空腔体真空是指低于大气压力的气体的给定空间,真空是相对于大气压来说的,并非空间没有物质存在.
真空是物理学里面的一个概念,开始反映的是空无一物的状态.即真空并不是无物而是有实物粒子和虚粒子转化的,但整体对外是不显示物理属性的宏观总体.真空就像是一个能量海,不断振荡并且充满着巨大能量.
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真空腔体制造技术
基板指的是一个大的法兰适配器，可以把一个位置低的腔体或者钟形罩连接到真空泵。基板通常有一个位于中心位置的端口或者法兰连接装置，可连接到真空抽气系统。
脱气箱或者脱气室通常是腔体结构，一般带有铰链接口，可连接不需要高真空环境的其他装置，如塑料样品、血液、粘合剂、化学制品或其他液体的除气设备。
辅助井用于连接抽气系统和钟形罩。
基地井整合了基板和真空密封颈，用焊接接头取代一个真空密封件，可以同时实现基板和密封设备两个部件的功能。
钟形罩由圆柱形的主体和一个半球形或球形的端口组成。可选材料包括玻璃、金属和塑料。标准钟形罩的直径是12英寸，14英寸，18英寸和24英寸。
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